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      您的位置:網站首頁 ? 產品中心 ? Aera質量流量控制器
      Aera質量流量控制器

      FC-R7810CD氣體流量計

      產品分類:Aera質量流量控制器

      產品介紹

      底價供應FC-R7820CD質量流量控制器詳細介紹

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      FC-R7810系列不僅能提供高精度流量控制。
      采用金屬材質密封具備優異的低泄漏特性,可適用于絕大多數氣體控制應用。提供行業通用和AE獨特電氣信號可選方案,可方便對用戶使用的質量流量控制器(MFC)進行替換,操作簡單。

      特點:

      ◆高精度

      ◆高信賴和可靠性

      ◆耐腐蝕設計

      ◆采用金屬密封材質

      ◆VCR、Swagelok互換的氣路接口

      ◆10SCCM-200SLM滿量程范圍

      ◆方便的互換性

      ◆高速應答***的統一性,目前世界上有大約7萬只在運行中的產品,內的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽?

      ◆方便的互換性

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      技術參數:
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      性能指標

      FC-R7800CD/FC-R7800D系列

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      FC-R7810CD/FC-R7810D系列

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      FC-R7820CD/FC-R7820D系列

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      滿量程范圍

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      10Sccm-5Slm

      N/O:6-20slm*

      N/C:6-50slm**

      35-200Slm

      響應時間

      滿流量的±2%范圍內,小于2秒

      滿流量的±2%范圍內,小于3秒

      精度

      ≤±1%滿量程

      ≤±2%滿量程

      線性鍍

      ≤滿量程±0 5%

      ≤滿量程±0 5%?#1

      ≤滿量程±1%

      重復性

      ????????????????????????? ≤滿量程±0.2%

      泄漏率

      ??????????????????????????? 1X10E-11 Pa.m ?/sec

      控制范圍

      ??????????????????????????滿流量的2%-5%? #2

      壓差

      49Kpa-275Kpa

      ?

      69Kpa-275Kpa

      98Kpa-275Kpa

      147Kpa-275Kpa

      ?

      正常工作壓

      ?????????????????????????? 490Kpa

      ?

      進氣壓力

      ?????????????????????????? 980Kpa

      ?

      溫度范圍

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      ?????????????????????????? 5-45℃(41-113℉)

      ?

      輸入電源

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      +15VDC±2% 25mA

      -15VDC±2% 180mA

      +15VDC±2% 25mA

      -15VDC±2% 200mA

      功率

      3.1W max

      3.5W max

      輸入信號

      0-5 VDC

      輸出型號

      0-5 VDC

      控制閥形式

      常開或常閉電磁閥

      密封件

      金屬密封

      材質

      316L,316,PTFE,不銹鋼(氟橡膠,氯丁橡膠)

      標準接口

      1/4"VCR和Swagelok兼容

      3/8"VCR,1/4"VCR

      重量

      1.0KG

      2.7KG

      #1滿量程流量值大于30SLM線性度≤滿量程±1%

      #2滿量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-***

      #3滿量程流量值大于150SLM壓差范圍為147-296Kpa5

      上一個 FC-R7700CD質量流量計
       
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