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      HORIBA質量流量控制器

      SEC-E400J質量流量控制器

      產品分類:HORIBA質量流量控制器

      產品介紹

       

      概要
      作為提高生產的必要因素、制造設備的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到關注。這些要求對氣體供給系統,也就是被稱為關鍵設備的質量流量控制器來說有很緊密的聯系。而批量使用搭載了在成本表現方面優勢明顯的電磁閥的質量流量控制器,則可完全符合制程要求。 
      特征
      • 采用金屬避風墊圈
      可對應腐蝕性氣體
      • 搭載異常報警功能
      警報輸出功能為其標準搭載

      規格

      ?SEC-E400J

       

      氣體連接部材質

      SUS-316L,Teflon

      磁性不銹鋼材質閥形式

      非通電時:閉標準

      流量范圍

      5/10/20/50/100/200/500 SCCM,1/2/3/5/10 SLM

      流量控制范圍

      2?100% F.S.(全量程)

      流量精度

      ±1.0% F.S.(全量程)

      ?SEC-E450J

       

      氣體連接部材質

      SUS-316L,Teflon

      磁性不銹鋼材質閥形式

      非通電時:閉標準

      流量范圍

      20/30 SLM

      流量控制范圍

      2?100% F.S.(全量程)

      流量精度

      ±1.0% F.S.(全量程)

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