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      HORIBA質量流量控制器

      LF-F/LV-F 液體微小質量流量計/控制器

      產品分類:HORIBA質量流量控制器

      產品介紹

      概要

      搭載采用了冷卻檢測方式的流量傳感器

      特征

      • 通過采用數字回路,實現了高精度?高速響應。
      • 可以進行微升以上的微小流量控制。
      • 可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
      • 超潔凈類型

      規格

       

      名稱

      質量流量計

      型號

      LF-F20M-A

      LF-F30M-A

      LF-F40M-A

      LF-F50M-A

      LF-F60M-A

      全標度流量(g/min)

      0.02/0.05/0.1

      0.2/0.5

      1/2/5

      10/20

      50/100

      檢測控制范圍

      5?100% F.S.

      對象液體種類 *1

      可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

      液體粘度 *2

      最大值. 0.1 Pa·s (100cp)

      精度 *3

      ±1% F.S.

      直線性 *3

      ±0.5% F.S.

      重復性 *3

      ±0.5% F.S.

      響應精度

      3秒以內 (T98)

      2秒以內 (T98)

      使用環境溫度 *4

      5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)

      溫度影響 Span

      ±0.1%F.S./℃ 最大值±1%

      工作差壓值值 *5

      最大值. 5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo 控制閥)

      耐壓

      10MPa (視為流量計)

      壓力損失

      最大值. 500Pa

      流量設定信號

      模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數字式:RS485(F-Net通信協議)

      流量輸出信號

      模擬:0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數字式:RS485(F-Net通信協議)

      驅動電源

      +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

      外部泄漏規格

      5×10-12Pa·m3/s (He)

      接液部材質

      SUS316L, Ni

      標準接頭

      1/16” , 1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

      1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

      1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型

      名稱

      質量流量控制器

      型號

      LV-F20 (PO/MO)

      LV-F30 (PO/MO)

      LV-F40 (PO/MO)

      LV-F50 (PO/MO)

      LV-F60 (PO/MO)

      全標度流量(g/min)

      0.02/0.05/0.1

      0.2/0.5

      1/2/5

      10/20

      50/100

      檢測控制范圍

      5?100% F.S.

      對象液體種類 *1

      可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

      液體粘度 *2

      最大值. 0.01 Pa·s (10cp)

      精度 *3

      ±1% F.S.

      直線性 *3

      ±0.5% F.S.

      重復性 *3

      ±0.5% F.S.

      響應精度

      3秒以內 (T98)

      2秒以內 (T98)

      使用環境溫度 *4

      5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)

      溫度影響Span

      ±0.1%F.S./℃ 最大值±1%

      工作差壓值 *5

      0.05?0.3MPa

      耐壓

      1MPa

      壓力損失

      流量設定信號

      模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數字式:RS485(F-Net通信協議)

      流量輸出信號

      模擬:0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數字式:RS485(F-Net通信協議)

      驅動電源

      +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

      外部泄漏規格

      PO 類型:1×10-8Pa•m3/s (He) MO 類型: 5×10-12Pa•m3/s (He)

      接液部材質

      PO 類型:SUS316L, Ni, PTFE, PFA MO 類型: SUS316L,Ni

      標準接頭

      1/16” , 1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

      1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

      1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型

      *1: LF-F/LV-F系列質量流量控制器利用1種液體進行了流量校正 (請預先指定所使用 的液體。)
      ?不能檢測含有固體物的液體。
      ?如果混合液中混合比會發生變化時,請預先進行咨詢協商。
      ?LV-F系列質量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時,請在一次端(入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
      *2: LF-F類型質量流量控制器根據流量量程,可以適用到 最大值, 0.1Pa•s。有關高粘度的液體請預先進行咨詢協商。
      *3: 以SEMI E56-1296 為準。
      *4: 進行測量?控制的液體溫度如果低于環境溫度時,使用時請把溫差控制在10℃以 內;如果高于液體溫度時,使用時請把溫差控制在3℃以內。
      *5:這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。

       

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